產品名稱
PC系列 CMP研磨液供給泵
產品型號
PC系列
產品類型
用于CMP工藝中的液體供給與循環
產品簡介
PC系列專為CPM工藝和固液混合流體的應用而設計。
材料
接觸液體部件：PFA, PTFE
產品用途
用于化學進料設備、清洗系統和CMP設備的循環管路，處理固液混合流體。
產品規格
運行期間液體溫度：10~100°C
最大吐出量：12、24、48L/min
供給空氣壓力：0.2~0.5MPaG
※使用前請閱讀操作手冊。
