產品名稱
全碳制吸盤
產品型號
-
產品類型
全碳制吸盤
產品簡介
真空吸盤完全由碳材料組成，結合了多孔碳吸附劑和高強度碳結構。 平均孔徑為 4 微米，非常細，因此不會發生吸附痕跡的轉移。 它重量輕，即使在嚴酷的溫度條件下也不會變形或斷裂，并具有出色的電氣性能。
材料
-
產品用途
晶圓吸附等
產品規格
【產品規格】
?工作溫度范圍
多孔碳 x 高強度碳：最高 250°C
多孔碳 x 其他材料：23 ± 2°C
?工作壓力
-0.1 ~ 0.1 MPa
?尺寸（吸附部分）
圓形：最大 ?450 (mm) / 方形：最大 □350 (mm)
【產品特點】
(1) 防止晶圓帶點
碳是一種優良的導體。 由于幾乎不帶電，工件在吸附時會接地。 表面電阻可通過涂層（附加規格）調整到靜電擴散區域。
(2) 適用于高溫環境。
在空氣中的耐熱溫度為 250°C，在惰性氣體中的耐熱溫度為 900°C。 抗熱震性強，不會因急劇加熱或冷卻而損壞。 (2) 由相同的材料構成，因此不太可能出現因熱膨脹差異而導致的精度變化，尺寸穩定性極佳。
(3) 重量輕，減輕設備負擔。
多孔碳的結殼密度低，僅為 1.2 克/立方厘米。
重量輕增加了設備設計的自由度。
【介紹支持】
可租賃吸板。
客戶可以在自己的環境中檢查其性能。
